本設(shè)備用于水處理含水溶性酸性廢氣，如氯化氫氣體、三氯氫硅、四氯化硅等酸性廢氣。本設(shè)備共有五級水處理過程：含酸性廢氣進(jìn)入級噴淋塔，該塔自上而下有一個環(huán)形水幕，對進(jìn)入的酸氣進(jìn)行次反應(yīng)。第二級進(jìn)入水箱里面噴淋處理，隨后進(jìn)入第三級噴淋塔，該塔有上下兩層噴淋頭，形成傘形水幕，對廢氣進(jìn)行第三次水洗溶解。進(jìn)入第四級噴淋塔，該塔也分兩層，大量分散水對酸氣充分吸收。第五級為射流器水洗，高速旋轉(zhuǎn)水流吸收殘余酸氣。經(jīng)過五級處理的酸氣可使酸濃度從10%降到0.05%以下。
本設(shè)備采用射流器產(chǎn)生負(fù)壓，變頻器控制電機速度產(chǎn)生穩(wěn)定負(fù)壓，高精度的射流器與負(fù)壓傳感器配合實現(xiàn)了壓力快速調(diào)節(jié)及穩(wěn)定功能，在管道部分受到影響的情況下自動調(diào)節(jié)處理器真空抽速，保證生產(chǎn)設(shè)備穩(wěn)定。