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半導體外延爐

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采用高頻爐加熱，控制溫度精度高，溫度曲線完整，穩定。外延生長溫度高，生長時間長，因而可以制造較厚的外延層。恒溫區溫度精度±1℃ ，工作溫度0--1280℃。

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