半導(dǎo)體外延爐的傳感器則是加熱裝置的核心部件，根據(jù)電流的磁效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)化為熱能，完成對(duì)材料的高效率、勻稱加溫，主要功能表現(xiàn)在高頻加熱設(shè)備、溫度均勻操縱、防止原材料環(huán)境污染、適應(yīng)不同加工工藝要求、提高設(shè)備智能化與穩(wěn)定性等多個(gè)方面。詳細(xì)如下：

高頻加熱設(shè)備：在半導(dǎo)體外延爐中，傳感器根據(jù)射頻電流造成交變磁場(chǎng)，使放置于反映室內(nèi)磁感應(yīng)體（如高純石墨底座）造成渦旋而發(fā)燙。這類加熱方法調(diào)節(jié)溫快速，控溫易調(diào)節(jié)，發(fā)熱量都集中在磁感應(yīng)體里，反應(yīng)室壁氣溫低，防止了原材料高溫下與反應(yīng)室壁觸碰而造成的環(huán)境污染或堆積。

溫度均勻操縱：傳感器設(shè)計(jì)能夠確保設(shè)備在加熱過程中環(huán)境溫度均勻一致，防止局部過熱或欠熱。這對(duì)外延生長(zhǎng)等高精密加工工藝尤為重要，由于溫度場(chǎng)可能造成原材料內(nèi)部產(chǎn)生地應(yīng)力，進(jìn)而引起缺點(diǎn)。通過調(diào)整傳感器的形態(tài)、線圈匝數(shù)、電磁線圈直徑和電流量等數(shù)據(jù)，能提高磁感應(yīng)強(qiáng)度，從而提升熱量傳輸效率，實(shí)現(xiàn)更均勻溫控。

防止原材料環(huán)境污染：電磁感應(yīng)加熱方法防止了材料和發(fā)熱元件的接觸，從而減少了環(huán)境污染風(fēng)險(xiǎn)。這對(duì)需要高純環(huán)境中的半導(dǎo)體器件生長(zhǎng)發(fā)育等工序至關(guān)重要。

適應(yīng)不同加工工藝要求：傳感器根據(jù)不同的加工工藝要求來(lái)設(shè)計(jì)和改進(jìn)。比如，在外延生長(zhǎng)中，很有可能需要適應(yīng)不一樣形狀和尺寸的基板；在熱處理過程當(dāng)中，很有可能需要快速、集中化的熱量鍵入。傳感器的穩(wěn)定性和支持定制性使其能夠滿足這些多樣化的需求。

提高設(shè)備智能化與穩(wěn)定性：隨著技術(shù)的進(jìn)步，半導(dǎo)體外延爐的自控系統(tǒng)愈來(lái)愈高精密。傳感器做為加熱裝置的關(guān)鍵部件，使用性能和穩(wěn)定性直接影響全部設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)高效率和產(chǎn)品質(zhì)量。根據(jù)集成化的傳感器和數(shù)據(jù)智能分析，傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)和動(dòng)態(tài)管理，提高設(shè)備的自動(dòng)化程度和穩(wěn)定性。